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產品簡介
MKS微型皮拉尼真空計（925）是一種基于獨特 MEMS（微電子機械系統）真空傳感器的熱導真空計。
| 品牌 | MKS/美國 | 價格區間 | 5千-1萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
MKS微型皮拉尼真空計（925）
925微型皮拉尼真空傳感器是一種基于獨特 MEMS（微電子機械系統）真空傳感器的熱導真空計。925微型 Pirani™ 提供模擬電壓輸出、數字接口和用于過程控制的設定點繼電器。
ljue對測量范圍從10-5Torr到大氣壓
lMicroPirani傳感器能夠承受空氣沖擊或振動造成的損壞
l模擬、RS232、RS485 和 EtherCAT® 版本
l可選的集成觸摸屏顯示用于當地壓力指示
l三個可選的過程控制設定點繼電器
MKS微型皮拉尼真空計（925）
技術參數
數字通信 | RS485/RS232 (4800到230400波特) | 模擬輸出分辨率 | 16位 |
傳感器 | MicroPirani™（MEMS 熱導率） | 繼電器觸點額定值 | 1 A @ 30VAC/DC，電阻性 |
繼電器 | 3個繼電器 SPDT（可選） | 中繼響應 | <100 毫秒 zui大 |
安裝方向 | 任何 | 電源要求 | 9到30伏直流電， zui大1.5瓦 |
測量范圍 | 1.0 x 10-5 Torr到大氣壓 | 準確性 | 5x10-4到 10-3 Torr，讀數的 ±10% |
設定點范圍 | 5.0 x 10-4 Torr到500Torr | 重復性 | 10-3 到 100 Torr ± 2% 的讀數 |
校準氣體 | 空氣，氬氣，氦氣，氮氣，氫氣，水蒸氣，二氧化碳，氙氣，氖氣 | 超壓限制 | 3000 Torr jue對值 |
工作溫度 | 0°到40°C (32°到104°F) | 內部容積 | (KF16) 2.80 毫升 |
zui高烘烤溫度 | 85°C (185°F)，非工作溫度 | 暴露材料 | 304不銹鋼，硅，SiO2，Si3N4，金，Viton®，低出氣環氧樹脂 |
數字控制 | 零調整，氣氛調整，壓力單位，波特率，地址，工廠默認，氣體類型；設定點功能：值，滯后，方向，啟用模擬輸出傳感器狀態，開關，LED測試 | 電子外殼和法蘭 | 304不銹鋼 |
數字狀態 | 壓力讀數和單位，設定點，操作時間，傳感器溫度，用戶標簽，型號，設備類型，序列號，固件和硬件版本部件編號，制造商 | 重量 | 170 克 (KF 16) |
模擬輸出 | 1到9 VDC，zui大輸出阻抗100Ω，1 volt/decade | 合規 | CE |
功能
925 轉換器提供了從 1x10-5torr到大氣壓的廣泛測量范圍，其基于熱導率的測量。MicroPirani 傳感器由一個帶有加熱電阻元件的硅芯片組成，該元件形成腔體的一個表面。芯片上的蓋子形成腔體的另一個表面。由于傳感器的幾何形狀，腔體內無法發生對流，因此傳感器對安裝位置不敏感。氣體分子僅通過擴散到達加熱元件，在此測量氣體的熱損失。
像所有的熱導率傳感器一樣，925對氣體類型敏感。為了補償氣體依賴性，MicroPirani 具有多種常見的氣體校準，可以通過數字接口進行選擇。這使得它成為在真空系統中定位中到小泄漏的簡單解決方案。校準氣體包括：空氣、氬氣、氦氣、氮氣、氫氣、水蒸氣、二氧化碳、氙氣和氖氣。
925 還具有 1VDC/decade 的模擬壓力輸出，可以與外部模擬設備連接，用于壓力讀取或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數字用戶界面進行選擇。
925最多可以有三個機械繼電器，可用于過程控制，例如聯鎖閥或泵。
可選的集成觸摸屏顯示器可以由用戶配置；用戶可以更改壓力單位、方向，并且可以訪問設定點參數以及氣體類型。該顯示器還顯示可用設定點繼電器的狀態。在高對比度顯示屏上，可以從5米外清楚地看到單個傳感器的壓力讀數或組合讀數。
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