氦質譜檢漏儀的調試核心在于精準校準泄漏率和che底排除背景噪聲干擾，以下 5 個關鍵步驟可保障設備處于好的檢測狀態，適用于工業真空、氣體密封檢測場景。

步驟 1： 設備預啟動與基礎參數檢查

1. 確認檢漏儀供電電壓穩定（符合設備銘牌標注，如 220V/50Hz），真空泵油位在標線范圍內，油質無渾濁、乳化現象。

2. 連接氦氣鋼瓶，檢查減壓閥、管路接頭無松動，打開鋼瓶閥門后確認無氦氣泄漏（可先用肥皂水涂抹接頭處排查）。

3. 啟動檢漏儀主機和真空泵，預熱 30~60 分鐘（不同型號略有差異），使設備內部溫度、真空度達到穩定狀態，避免溫度漂移影響檢測精度。

4. 進入設備操作界面，核對基礎參數：真空極限壓力、氦氣靈敏度閾值，恢復出廠默認檢測模式（如累積模式、實時模式）。

步驟 2： 背景噪聲基線標定與排除

背景噪聲是影響檢漏精度的主要干擾源，需先標定基線再針對性排除：

1. 基線標定：在無氦氣注入、檢測腔體全密封的狀態下，運行檢漏儀 5~10 分鐘，記錄設備顯示的泄漏率數值，此為初始背景噪聲基線。

2. 噪聲排除措施

l若基線數值偏高且波動大，檢查真空泵與檢漏儀的連接管路是否漏氣，更換老化的密封墊圈；

l排查周邊環境氦氣干擾（如附近氦氣鋼瓶泄漏、其他檢測設備排氣），必要時關閉無關氦氣源或移動檢漏儀至獨立空間；

l若設備內置吸附阱，確認吸附劑未失效（失效吸附劑無法過濾雜質氣體，會導致噪聲升高），及時更換。

3. 重新標定基線，確保背景噪聲穩定在設備說明書規定的zui低閾值以下（如≤1×10?11 Pa?m3/s）。

步驟 3： 標準漏孔校準泄漏率（核心步驟）

采用已知泄漏率的標準漏孔進行校準，確保檢測數值準確：

1. 選擇與待測工件泄漏率范圍匹配的標準漏孔（如待測工件要求 1×10?? ~ 1×10?1? Pa?m3/s，選用同量程標準漏孔），記錄漏孔的標稱泄漏率值。

2. 將標準漏孔通過專用接頭連接到檢漏儀的檢測接口，確保連接密封無泄漏。

3. 打開標準漏孔的閥門，緩慢通入氦氣，等待檢漏儀數值穩定后，記錄顯示的泄漏率讀數。

4. 對比顯示值與標稱值，若偏差超過 ±10%，進入設備校準菜單，按照說明書調整靈敏度系數，直至顯示值與標稱值一致。

5. 校準完成后，關閉標準漏孔閥門，觀察數值是否回落至背景噪聲基線，確認設備無殘留氦氣干擾。

步驟 4： 腔體真空度優化與氦氣殘留清除

1. 對待測腔體進行抽真空處理，確保腔體真空度達到檢漏要求（通常需≤1×10?2 Pa，具體根據檢測標準調整）。

2. 若腔體抽真空后仍有氦氣殘留（數值居高不下），延長抽真空時間，或采用 “氮氣吹掃 + 二次抽真空" 的方式，清除腔體內殘留的氦氣。

3. 檢查腔體與檢漏儀的連接管路是否過長，過長管路會導致氦氣響應延遲，可縮短管路或增加輔助真空泵。

步驟 5： 系統聯動測試與數據驗證

1. 完成校準和噪聲排除后，用待測工件的模擬件進行聯動測試：在模擬件上人為制造微小泄漏（或連接另一標準漏孔），檢測檢漏儀的響應速度和數值準確性。

2. 重復測試 3 次，確保每次檢測數值偏差≤±5%，記錄測試數據并生成校準報告。

3. 保存校準參數至設備，設置參數保護密碼，防止誤操作導致校準數據丟失；同時清理設備表面和管路，關閉氦氣鋼瓶閥門，完成調試。

調試注意事項

1. 標準漏孔屬于精密器件，需輕拿輕放，避免磕碰，定期送計量機構檢定。

2. 氦氣屬于惰性氣體，操作時保持通風良好，防止缺氧風險。

3. 調試完成后，建議每周進行 1 次背景噪聲復查，每月用標準漏孔校準 1 次。

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