一、研究背景

　　光子晶體是一種在光學(xué)尺度上具有周期性介電結(jié)構(gòu)的材料，可以產(chǎn)生被稱為光子帶隙的“禁止"頻率。通過(guò)對(duì)材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)和制備，可以實(shí)現(xiàn)不同的禁止頻率，使人們操縱和控制光子成為可能。基于這種特性，光子晶體被廣泛應(yīng)用于新型光電器件集成、光通信及傳感檢測(cè)等領(lǐng)域。

　　鈮酸鋰(LiNbO3)晶體由于其優(yōu)異的非線性光電特性，成為制備高性能光子晶體器件的主流材料。通過(guò)對(duì)該材料進(jìn)行周期性微孔結(jié)構(gòu)的制備，可實(shí)現(xiàn)其對(duì)光波的選擇性調(diào)控。然而，鈮酸鋰晶體硬度高、化學(xué)性質(zhì)不活潑，傳統(tǒng)的機(jī)械或化學(xué)方法很難實(shí)現(xiàn)該材料所需微孔結(jié)構(gòu)的制備。主流聚焦離子束(FIB)刻蝕技術(shù)雖然可以制備微孔結(jié)構(gòu)，但在制孔過(guò)程中，被去除的樣品易發(fā)生再沉積，導(dǎo)致微孔制備深度有限，限制了光波與光子晶體結(jié)構(gòu)之間的耦合，最終影響器件性能。

　　飛秒激光由于超短的脈沖寬度和超高的峰值功率，理論上可以對(duì)任意材料進(jìn)行加工，精度高、熱影響小，使其成為一種具潛力的微結(jié)構(gòu)制備手段。目前，已有許多研究團(tuán)隊(duì)成功利用飛秒激光在鈮酸鋰晶體的表面及內(nèi)部進(jìn)行溝槽、波導(dǎo)等微結(jié)構(gòu)的制備，但是受限于傳統(tǒng)飛秒高斯光束極短的瑞利長(zhǎng)度，以飛秒激光直寫(xiě)獲得鈮酸鋰晶體高深徑比微孔結(jié)構(gòu)仍是一個(gè)挑戰(zhàn)。

　　二、創(chuàng)新研究

　　基于對(duì)超快激光高精制造領(lǐng)域多年的探索和積累，北京工業(yè)大學(xué)材料與制造學(xué)部季凌飛研究員團(tuán)隊(duì)利用軸棱鏡將傳統(tǒng)飛秒高斯光束整形為初始的飛秒貝塞爾光束，基于角譜衍射理論對(duì)整形所需光場(chǎng)分布進(jìn)行模擬分析，確定無(wú)衍射傳播距離超過(guò)200 mm的初始飛秒貝塞爾光束的光學(xué)傳輸條件，依據(jù)菲涅爾衍射定律，通過(guò)4f系統(tǒng)進(jìn)一步壓縮光束尺寸，最終獲得焦深約600 µm，焦點(diǎn)尺寸不到2 µm的緊聚焦微型貝塞爾光束，保障了高深徑比加工的分辨率。借助整形后貝塞爾光束均勻狹長(zhǎng)的光場(chǎng)分布，匹配光束-樣品相對(duì)位置的精準(zhǔn)調(diào)控，以激光單脈沖能量成功實(shí)現(xiàn)了鈮酸鋰亞波長(zhǎng)孔徑、高深徑比(約為700:1)的微孔結(jié)構(gòu)單脈沖直寫(xiě)。通過(guò)控制激光脈沖頻率與高精平臺(tái)移動(dòng)速度，最終在無(wú)間歇的動(dòng)態(tài)掃描過(guò)程中一步完成大面積微孔結(jié)構(gòu)光子晶體的快速制備。

　　圖1 飛秒貝塞爾光束整形加工裝置及產(chǎn)生的貝塞爾光束形貌和能量分布特征

　　實(shí)驗(yàn)所用飛秒光束波長(zhǎng)為1035 nm，雖然光子能量(約為1.2 eV)遠(yuǎn)小于鈮酸鋰禁帶寬度(約為3.8 eV)，但由于飛秒光束具有高的峰值功率，鈮酸鋰晶體依然可以通過(guò)非線性吸收機(jī)制獲得能量沉積。微孔的特征尺寸主要由激光單脈沖能量以及光束-樣品相對(duì)位置的調(diào)控決定。激光單脈沖能量的增大會(huì)同時(shí)增加微孔孔徑和微孔深度，而微孔深徑比則隨著能量增大逐漸減小。光束-樣品的相對(duì)位置則主要影響材料內(nèi)部相互作用區(qū)的范圍，并不改變微孔孔徑特征。

　　實(shí)驗(yàn)所用鈮酸鋰晶體厚度約500 µm，略小于整形后的貝塞爾飛秒光束焦深。因此將貝塞爾焦點(diǎn)區(qū)域放置在材料正中間，通過(guò)合理優(yōu)化脈沖能量，獲得了孔徑為715 nm的全貫通微孔(深徑比約為700:1)，如圖2(a)和圖2(b)所示。貫通微孔形成的空氣柱與未去除的鈮酸鋰晶體形成周期性介電結(jié)構(gòu)，通過(guò)對(duì)微孔特征尺寸和分布進(jìn)行設(shè)計(jì)，制備出具有明顯光子帶隙的光子晶體器件，其透射光譜如圖2(c)所示。

　　圖2 飛秒貝塞爾光束在500 µm厚的鈮酸鋰晶體內(nèi)部直寫(xiě)微通孔結(jié)構(gòu)光子晶體器件

　　三、總結(jié)

　　利用飛秒激光貝塞爾光束進(jìn)行整形，實(shí)現(xiàn)了深徑比約為700:1的大面積鈮酸鋰微孔陣列的一步制備，微孔成形均勻、陣列可控性高。這種高效可靠的高深徑比微孔結(jié)構(gòu)加工方式為鈮酸鋰光子晶體器件的制備提供了一條值得探索的新途徑。

參考文獻(xiàn)： 中國(guó)光學(xué)期刊網(wǎng)

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