玻璃涂層在于修改其光學特性，提升其太陽能傳遞特征或者改變其外觀。無論是能量控制或者只是建筑要求，玻璃涂層工藝要求嚴格。

為達到薄膜涂層優化品質標準，工藝氣系統須能提供高品質的涂層一致性。大規模涂層設備使用中如何簡化維護也是重要的關注點。Bronkhorst了解玻璃涂層工業的需求，開發了成熟的方案用以滿足大規模玻璃涂層應用的要求。

應用要求

高品質涂層的一致性、高效、低成本是玻璃涂層行業的其中幾項要求。通過控制具體工藝氣體，改善薄膜一致性。另外，如果控制是通過可獲得穩定流形的儀表完成，重復性、快速響應以及優化性能就可達成。

為了降低成本，儀表應當可靠、耐用，24小時/7天不間斷工作。

重要議題

l 重復性

l 響應時間

l 可靠性

l 緊湊型，節省空間

工藝方案

通過準確氣體噴濺獲得一致性的涂層是一種物理氣相沉積（PVD）工藝，其在高壓加速下將原子或分子由源轉移到基材表面上。作用是使某些有特殊性能（強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上，使母體具有更好的性能。

噴濺的原子被推進到母體上，在其表面形成薄膜涂層。

工藝要求使用惰性氣體：常用氬氣，但是有些噴濺工藝采用氧化物或氮化物參與其中，這種情況下，惰性噴濺氣體需加入氧氣、氮氣。

根據其特性，該工藝要求低壓，但是工藝氣體流量需足夠離子轟擊發生，否則不可能保持等離子。因此，工藝氣體須精細控制，不然產品品質以及同質性的涂層將大打折扣。

帶比例電磁控制閥，Bronkhorst質量流量控制器是這一應用的理想選擇，可同時實現超快、平穩控制，優化穩定性和重復性。

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。